一、废水简介
半导体废水为酸性含氟废水，主要处理指标为pH、氟化物、COD等，主要执行标准为广东省地方标准DB44/262001《广东省水污染物排放限值》中的标准。废水的pH为3左右，氟化物高达800mg/L甚至更高；这类废水必须用可靠的工艺方能使出水氟化物达到排放标准，否则将会超标排放，造成环境污染。
二、工艺选择
半导体含氟废水为高浓度酸性含氟废水，浓度达到800mg/L以上，属于高浓度范畴；处理含氟废水主要使用复合碱法初步处理，再利用氯化钙和聚合氯化铝进行第二步处理；但一般用聚合氯化铝作二级处理出水稳定性不高，所以建议使用复合碱法+净水剂（必要时加氯化钙）处理工艺，次工艺可以使出水氟离子达到4mg/L左右，可以达到广东地方标准10mg/L以内。
三、试验验证
1、试验水样：含氟废水
2、试验仪器：烧杯、pH计、玻璃棒、洗耳球、移液管
3、试验药剂：复合碱（10%）、聚丙烯酰胺、净水剂
4、试验过程
（1）用数个250ml的烧杯，倒入200ml的水样；
（2）在pH计的指示下，向各烧杯中加入不同量的复合碱，记下加药量；pH值依次为9、10、11、12。
（3）向各烧杯中加入1ml聚丙烯酰胺溶液，然后搅拌1min后沉淀1小时；
（4）取对应的数个150ml的烧杯，将250ml烧杯中的上清液移100ml到对应的烧杯中；
（5）在pH计的指导下，向各烧杯中依次加入净水剂溶液，使pH值回下降到7.5左右；
（6）向4个小烧杯中加入0.5ml聚丙烯酰胺溶液，搅拌1min后沉淀1小时；
（7）取4个250ml烧杯中的上清液和4个150ml烧杯中的上清液检测氟化物浓度，分析各加药条件下氟化物的去除率；
5、试验检测结果
表1：试验检测结果
6、结果分析
从上面表格检测结果分析，当用复合碱调节pH值到11时，初步处理可以使氟化物降低到20mg/L以下,然后再经过二级处理，通过加净水剂使氟化物与铝盐生成络合沉淀，让出水降低到10mg/L的标准以下。
一般为了出水稳定，会在二级处理过程中先加一定的氯化钙，在加净水剂，出水氟化物会达到4mg/L左右。
四、工艺设施
从上面实验可以看出，目前的除氟工艺都需要具备如下的处理设施：
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